ለፓስሳት ነዳጅ የጋራ የባቡር ግፊት ዳሳሽ 06E906051K ተፈጻሚ ይሆናል።

1. የግፊት ዳሳሽ ለመመስረት ዘዴ ፣ የሚከተሉትን ያጠቃልላል

አንድ ሴሚኮንዳክተር substrate ማቅረብ, ይህም ውስጥ የመጀመሪያው interlayer dielectric ንብርብር, የመጀመሪያው interlayer dielectric ንብርብር እና ሁለተኛ interlayer dielectric ንብርብር semiconductor substrate ላይ ተቋቋመ.

በአንደኛው ኢንተርሌይየር ዳይኤሌክትሪክ ሽፋን ዝቅተኛ የኤሌክትሮል ንጣፍ ፣ ከታችኛው ኤሌክትሮድ ንጣፍ ጋር በተመሳሳይ ንብርብር ላይ የሚገኝ የመጀመሪያ የጋራ ኤሌክትሮል እና ተለያይቷል።

ንብርብሮችን ማገናኘት;

ከታችኛው የዋልታ ንጣፍ በላይ የመሥዋዕት ሽፋን መፍጠር;

በመጀመሪያው interlayer dielectric ንብርብር, የመጀመሪያው interconnection ንብርብር እና መሥዋዕት ንብርብር ላይ በላይኛው electrode ሳህን መፍጠር;

የመሥዋዕቱን ንብርብር ከሠራ በኋላ እና የላይኛውን ንጣፍ ከመፈጠሩ በፊት, በመጀመሪያው የመተሳሰሪያ ንብርብር ውስጥ

የግንኙነቶች ግሩቭን ​​መፍጠር እና ከመጀመሪያው የግንኙነት ንብርብር ጋር በኤሌክትሪክ ለማገናኘት የግንኙነቱን ጉድጓዱን ከላይኛው ንጣፍ መሙላት; ወይም፣

የላይኛው የኤሌክትሮል ንጣፍ ከተፈጠረ በኋላ ፣ በላይኛው የኤሌክትሮል ንጣፍ እና የመጀመሪያው የግንኙነት ንብርብር ውስጥ የሚገናኙ ግሩፎች ይፈጠራሉ ፣

የላይኛው የኤሌክትሮል ንጣፍ እና በግንኙነት ግሩቭ ውስጥ የመጀመሪያውን የግንኙነት ንጣፍ በማገናኘት የሚመራ ንብርብር መፍጠር;

የላይኛውን ንጣፍ እና የመጀመሪያውን የግንኙነት ንጣፍ በኤሌክትሪክ ካገናኙ በኋላ የመሥዋዕቱን ንጣፍ በማንሳት ጉድጓድ ለመፍጠር።

2. የይገባኛል ጥያቄ 1 መሰረት የግፊት ዳሳሽ የመፍጠር ዘዴ, በውስጡም በመጀመሪያው ንብርብር ውስጥ

በ interlayer dielectric ንብርብር ላይ የመስዋዕት ሽፋንን የመፍጠር ዘዴ የሚከተሉትን ደረጃዎች ያካትታል ።

በመጀመሪያው ኢንተርላይየር ዳይኤሌክትሪክ ሽፋን ላይ የመሥዋዕት ቁሳቁስ ንብርብር ማስቀመጥ;

የመስዋዕትነት ንጣፍን ለመቅረጽ የመሥዋዕቱን ንጣፍ ንድፍ ማውጣት.

3. የይገባኛል ጥያቄ 2 መሠረት የግፊት ዳሳሽ የመፍጠር ዘዴ ፣ በዚህ ውስጥ የፎቶሊቶግራፊ እና የተቀረጸ ጽሑፍ ጥቅም ላይ ይውላል።

የመሥዋዕቱ ቁሳቁስ ንብርብር በቅርጽ ሂደት ተቀርጿል.

4. የይገባኛል ጥያቄ 3 መሰረት የግፊት ዳሳሽ የመፍጠር ዘዴ, በውስጡም የመስዋዕት ሽፋን

ቁሱ የማይለወጥ ካርቦን ወይም ጀርመኒየም ነው.

5. የይገባኛል ጥያቄ 4 መሰረት የግፊት ዳሳሽ የመፍጠር ዘዴ, በውስጡም የመስዋዕት ሽፋን

ቁሱ የማይለወጥ ካርቦን ነው;

የመሥዋዕታዊ ቁስ ሽፋንን በማሳመር ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የማሳከክ ጋዞች O2, CO, N2 እና Ar;

የመሥዋዕታዊ ቁስ ሽፋንን በማንሳት ሂደት ውስጥ ያሉት መለኪያዎች የ O2 ፍሰት መጠን 18 SCCM ~ 22 SCCM ነው, እና የ CO ፍሰት መጠን 10% ነው.

የፍሰት መጠኑ ከ 90 SCCM እስከ 110 SCCM, የ N2 ፍሰት መጠን ከ 90 SCCM እስከ 110 SCCM እና የ Ar ፍሰት መጠን.

ክልሉ 90 SCCM ~ 110 SCCM ነው ፣ የግፊት መጠኑ 90 mtor ~ 110 mtor ነው ፣ እና የአድሎአዊ ኃይል

540 ዋ ~ 660 ዋ